Sistem rotor
Miezul de putere al unei pompe de vid uscat este un ansamblu de rotor montat cu precizie, format de obicei din două până la trei rotoare elicoidale sau în formă de gheare-. Aceste rotoare metalice de-înaltă precizie se îmbină între ele cu spațiu liber la nivel de microni-, utilizând contra-rotația pentru a propulsa gazul de la orificiul de admisie către orificiul de evacuare. Designul unic al profilului rotoarelor-cum ar fi profilele cu arc evolvent sau circular-determină eficiența de pompare; vitezele de rotație pot atinge 3.000–6.000 rpm, iar raportul de compresie cu o singură etapă-poate depăși 10:1.
Structura de etanșare
Spre deosebire de pompele-etanșate cu ulei, pompele uscate mențin integritatea vidului printr-un mecanism de etanșare-triplu:
Garnituri labirint: canalele sinuoase în mai multe-etape situate la capetele rotorului utilizează rezistența la fluxul de aer pentru a bloca scurgerile.
Bariera de gaz: gazul inert este injectat în spațiile critice pentru a crea o barieră pneumatică de presiune.
Acoperiri specializate: Suprafețele rotorului sunt acoperite cu materiale precum PEEK (polieter eter cetonă), care oferă atât rezistență la uzură, cât și un coeficient de frecare redus.
Aceste caracteristici de proiectare mențin rata de scurgere sub 0,5 Pa·m³/s, îndeplinind astfel cerințele stricte de curățenie ale industriilor precum producția de semiconductori.
Modul de răcire: „Gardianul temperaturii” pentru funcționare continuă
Datorită absenței lubrifierii pe bază de ulei-, pompele uscate necesită un sistem inteligent de management termic:
Răcire cu aer: aripioarele de disipare a căldurii din aliaj de aluminiu asociate cu un ventilator centrifugal disipează până la 60% din căldura generată.
Răcirea cu apă: o buclă internă de circulație a apei cu-tub de cupru oferă o eficiență a schimbului de căldură de trei ori mai mare decât cea a răcirii cu aer.
Răcire cu schimbare de fază-: anumite modele utilizează tehnologia conductei termice, obținând o rată de conductivitate termică de până la 100 de ori mai mare decât cea a cuprului pur.
